lintec快速響應質量流量控制器MC-7000 便攜式超聲波流量計

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更新日期：2024-03-24

簡要描述：

lintec快速響應質量流量控制器MC-7000
熱傳感器實現(xiàn)100msec（典型值）的高速流量控制。 Lintec的非接觸式熱流量傳感器和壓電控制閥可實現(xiàn)腐蝕性氣體的超快速流量控制。

詳細介紹

品牌	其他品牌	類型	超聲波
測量范圍	1m3/h

lintec快速響應質量流量控制器MC-7000

超快質量流量控制器，響應時間為200毫秒。

熱傳感器實現(xiàn)100msec（典型值）的高速流量控制。 Lintec的非接觸式熱流量傳感器和壓電控制閥可實現(xiàn)腐蝕性氣體的超快速流量控制。

它具有1.0%的SP±流量精度的高精度，可以選擇數(shù)字通信方式DeviceNet和EtherCAT進行。

長處

超快流量控制 200 毫秒
準確度±1%SP
工作溫度 5~50°C
金屬密封件
清潔（保證顆粒）
環(huán)境溫度補償傳感器
EtherCAT通信
設備網(wǎng)絡™通信

超快流量控制

使用示例

快速蝕刻工藝

在半導體制造過程中，需要在小型化的同時提高吞吐量。即使在控制反應氣體流量的質量流量控制器中，對縮短流量控制的啟動（啟動）時間的需求也在增加。超高速質量流量控制器[MC-7000]是一種非接觸式熱流量傳感器，不接觸流量傳感器和流量測量氣體，實現(xiàn)200ms的超高速響應。非接觸式可實現(xiàn)腐蝕性氣體流量測量的高速流量控制。

lintec快速響應質量流量控制器MC-7000

規(guī)格

溫度	最小壓差	最大壓差	精度	控制范圍	低標準	最高 F.S.	密封
5~50°C	50kPa	300kPa	±1%自保	2~100%F.S.	5SCCM	20SLM	金

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